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      中南大學旋轉PECVD

      發布時間:2020-11-20  瀏覽次數:2244

      中南大學程老師為了處理碳酸鈰材料,在我公司定制非標準旋轉PECVD,設備組裝完畢后,進行空載試機,為老師及學生講解設備功能及使用方法,測試各項功能均正常后進行第一次實驗。

      裝載大約25克碳酸鈰,由于原料含有較大的水分,開始抽真空明顯感覺抽真空速率及其緩慢,真空泵運行將近一個小時,才能抽至100pa左右,在未通氧氣的情況下,一旦射頻開啟,真空度會迅速升高,且爐管內部輝光為暗淡的紫色,且啟輝不易穩定,需要較長的時間,通入氧氣后會在爐管右端首先反應比較激烈,會出現爆閃的紅光,隨著反應過程的推進,輝光會逐漸穩定且向爐管左側蔓延,直至充滿整個爐管,且輝光顏色會逐漸由暗紫色變為淡紫色最終轉為淡粉色,此后顏色就不再發生變化,真空度也會維持在一個很低的水平,一般在20pa左右,反應完成后物料顏色由之前的純白色變為米黃色。